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真空速凝炉的真空系统组成分析

点击次数:959 发布时间:2017/9/27 11:13:19

  真空速凝炉的真空系统的三个基本要求:
  1.能迅速地将真空速凝炉的真空度抽到规定的要求。
  2.能及时排出被处理工件和炉内构件所释放出的各种气体,以及因真空泄漏而渗入炉体内的气体。
  3.真空机组占地面积小,运行安全可靠,操作简便。
  真空速凝炉的真空系统通常由真空获得设备(真空泵机组)、控制真空组件和测量真空组件所组成:
  1.真空泵机组。根据炉子工作压力和抽气量的大小,分别选配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。
  2.真空组件或元件。在真空炉体和真空泵机组之间配备的各种真空组件或真字元件,如管路、密封圈、法兰、波纹管、冷阱、过滤器和阀门等。
  3.真空测量系统,如真空规管、真空压力表和其他真空测量仪表。
  4.真空检漏仪器、真空控制仪器、充气装置等。

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